Spektrala intervall från FUV till NIR: 190-2100nm

UVISEL PlusElliptisk polariseringsspektrometerDen optimerade kombinationen av modulitet och prestanda för film-, yta- och gränssnittskarakterisering.

UVISEL Plus är enKlassiska elliptiska modeller för noggrannhet, känslighet och stabilitetDen använder PEM-fasmoduleringsteknik, vilket ger bättre stabilitet och signalbullerforhållande jämfört med mekanisk roterande komponentteknik.Spektret sträcker sig från 190nm till 2100nm.

UVISEL Plus integrerar nya FastAcqTMsnabb insamlingsteknik,Högopplöst provprov på mindre än 3 minuter (190-2100 nm)Kalibreringen tar bara några minuter. Baserad på ny elektronik, databehandling och höghastighetsmonometrar, ger FastAcq-tekniken användare hög upplösning och snabb datainsamling. FastAcq är utformad för filmkarakterisering,Dubbel moduleringsteknikDu kan säkerställa att du får utmärkta testresultat.

Fasmoduleringstekniken kännetecknas av högfrekvensmodulation på 50 kHz, utan rörliga delar i signalinsamlingsprocessen:

• Testa hela spektret av elliptiska vinklar, Ψ (0-90)，Δ (0-360)
• Utmärkt signal- och bullerforhållande från FUV till NIR
• Den snabba datainsamlingen, upp till 50 ms/punkt, är idealisk för dynamisk forskning och onlinemätningar

Jämfört med att antaKonventionell elliptisk polariseringsspektrometer för rotationsmodulering， Fasmoduleringsläge för UVISEL PlusHögre känslighet och precision vid karakterisering av filmDen kan inte bara upptäcka en extremt tunn film eller gränssnitt som inte kan observeras av andra ellipsometer, utan kan också karakterisera en tjock film på 50 µm.

I testet med ryggreflex.Genomsynliga prover, test är enkel och noggrann,Du behöver inte skrapa baksidan.

UVISEL Plus är också utformad med en mängd tillbehör och valfria funktioner som gör det enkelt för kunderna att välja rätt konfiguration utifrån applikationsbehov och budget. Till exempel används mikrofläckar för mönsterprov, automatiska vinkelomvandlare, automatiska provbord och så vidare.

UVISEL Plus är modulär och flexibelt skalbar. Kan användas offlineDesktop mätningKan också kopplas till beläggningsutrustning för online övervakning.

UVISEL Plus kan välja ett användargränssnitt baserat på vanor.DeltaPsi2Har modellerings- och anpassningsbearbetningsfunktioner; En annan är det användarorienterade, helautomatiska provtestgränssnittet för Auto-Soft, som gör arbetsflödet intuitivt och lätt att använda för icke-proffs.

UVISEL Plus med FastAcq-teknik är idealisk inom materialforskning och bearbetning, plattskärmar, mikroelektronik och fotovoltaikUniversell spektral ellipsometer.

UVISEL PlusDet är ett idealiskt verktyg för materialvetenskapsforskning.