Smart massflödesmätare Små volymer flödeskontroller Massflödesmätare för varma gaser
Användning och egenskaper
Massflödeskontroller (MFC) används för precisionsmätning och kontroll av massflödet av en gas. De spelar en viktig roll i forskning och produktion inom halvledare- och integrerade kretsindustrin, specialmaterialdiscipliner, kemisk industri och många områden inom industri, läkemedel, vakuumlampor. Dess typiska tillämpningar inkluderar: elektronisk processutrustning, såsom diffusion, utvidgning, CVD、 Oxidation, plasmakorrosion, sputtring, joninjektion; och beläggningsutrustning, fibersmältning, mikroreaktionsapparater, gasblandningssystem, kapillärsmätning, gaskromatometer och andra analysinstrument.
Huvudtekniska indikatorer
Måtsområde (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
Noggrannhet +1,5% F.S.
Linjär +0,5 ~ 1,5% FS
Upprepad noggrannhet +0,2% F.S
Svartid 10sec Gasegenskaper: (1 ~ 4) sec
Arbetstryckskillnad 0,1 ~ 0,5 MPa
Tryckbeständighet 3Mpa 6Mpa 10Mpa
Arbetsmiljötemperatur 0 ~ 70 ℃
Digitala mängder RS485 MODBUS-protokoll
Analog volym DC 0 ~ 5V, 4 ~ 20mA valfritt
Elektriska egenskaper: SLM
Strömförsörjning DC +15V/24V valfritt, flödesmätare <50mA, styrare <200mA
Elektrisk anslutning DB15
Läckage 1×10 SCCSHe
Basmaterial 316L rostfritt stål
Tätningsmaterial fluorgummi, butanegummi, neopren
Gasvägskoppling Φ3, Φ6, Φ10, 1/8 ", 1/4", 3/8 "
Obs: Massflödesmätare och massflödesstyrare är vanligtvis kalibrerade med kväve (N₂) från fabriken.
Enheten för massflödet anges som: SCCM (standard ml/min). SLM (standardliter/min)
Smart massflödesmätare Små volymer flödeskontroller Massflödesmätare för varma gaser